Ventosa a vuoto serie ZP3P
Tipo di uscita per vuoto longitudinale serie ZP3P con buffer
Il tipo di uscita del vuoto longitudinale serie ZP3P con buffer è una guida del flusso di particelle progettata per ambienti ad alto vuoto. La sua funzione principale è ottenere un'estrazione efficiente e stabile dei fasci longitudinali di particelle. Allo stesso tempo, ottimizza la dinamica di trasmissione delle particelle attraverso strutture tampone integrate per soddisfare le esigenze dei processi industriali di precisione.
Principali caratteristiche tecniche
Architettura di estrazione del vuoto longitudinale
Il design del canale del vuoto assialmente simmetrico è adottato per garantire che il flusso delle particelle sia direzionale lungo l'asse principale dell'apparecchiatura, evitare la distorsione del campo di flusso causata dall'estrazione laterale e mantenere l'integrità del flusso d'aria della camera del vuoto.
Meccanismo buffer incorporato
L'unità buffer dinamica multistadio integrata realizza la pre-regolazione del flusso di particelle ad alta energia attraverso la regolazione del gradiente energetico senza contatto, riduce la divergenza dello spazio di fase delle particelle e fornisce un fascio di particelle con una migliore collimazione per i processi a valle.
Design compatibile con il vuoto
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
Ottimizzazione della dinamica della trasmissione
Il design coordinato del modulo buffer e del canale di estrazione realizza una compressione attiva dello spettro energetico delle particelle, sopprime efficacemente la perdita di diffusione e migliora la qualità del raggio, che è particolarmente adatta per scenari applicativi con severi requisiti di monocromaticità.
Adattabilità del sistema industriale
L'interfaccia flangiata standard supporta l'integrazione modulare e può connettersi perfettamente a varie camere di processo a vuoto. Il design della sua struttura non magnetizzata espande ulteriormente la sua applicabilità in ambienti sensibili al campo magnetico.
